美國派克PARKER高壓水平交叉膜片式閥應用指南
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935A 和 935T 系列為1/2"接口,流量通過閥體連接直徑為2"的鋼管。這個設計可以使垂直單向閥進入橫向氣體分流系統(tǒng)的集成得到了簡化
派克935A和935T系列不銹鋼閥體隔膜閥能夠提供優(yōu)抗漏能力和氣體容納能力,使它成為高流量高純應用的選擇,
包括半導體加工設備。935A這種類型的閥體可以在一定角度定位手柄以便適應狹窄的空間,而無需費力接觸手柄。935A和935T有一個位置指示器便于操作人員簡單判斷出閥門是否關(guān)閉。泄放口選項可以簡化吹掃操作流程。
半圓式膜片與閥體形成了金屬對金屬的密封,與膜片接觸的區(qū)域在保持應力狀態(tài)下可以進行更大的拉伸行程。
閥體為經(jīng)過電解拋光處理的Vericlean"316L不銹鋼材質(zhì)。Vericlean""是派克高純級不銹鋼材質(zhì)。
閥座可選擇PCTFE(聚三氟氯乙烯)或VespelR(聚酰亞胺樹脂)材質(zhì)。
935系列閥的內(nèi)部(閥座)密封及金屬外部密封均采用質(zhì)譜儀進行氦氣泄漏實驗,以獲得其在高要求的高純應用中有出色穩(wěn)定的表現(xiàn)。
束縛式膜片設計提供了閥桿正向拉伸的穩(wěn)定性,935系列閥體內(nèi)部無彈簧及螺紋。
·過程控制·半導體行業(yè)·分析實驗室·制藥業(yè)·生物制藥業(yè)·航空航天·工業(yè)
特點/YS:
·高流量壓應用的選擇·10微英寸(Ra)標準表面光潔度·從真空至300 psig壓力適用·減少雜質(zhì)生成及氣體的卷入·外部金屬-金屬密封
·束縛式膜片減少了彈簧在液體中的使用,提高了安全性·開/關(guān)閥位置指示
·內(nèi)部泄漏率: ≤4x 10-9 scc/sec He·外部泄漏率: <2x10-10 scc/sec He
·閥座可選擇PCTFE(聚三氟氯乙烯)或Vespel(聚酰亞胺樹脂)材質(zhì)·兩個接口,多轉(zhuǎn)式手輪
應用:
·腐蝕性及特殊氣體·氣體分配系統(tǒng)
·大型特殊氣體供應系統(tǒng)(BSGS)
這樣減少了表面積及氣體卷入的可能,而這是管波紋閥門固有的缺陷,這一設計還可以進行更簡便的吹掃及產(chǎn)生更少的雜質(zhì)。
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