松下晶圓校準傳感器技術(shù)樣本,Panasonic規(guī)格型號
雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高性能,因此可實現(xiàn)檢測。
投、受光部一體型,無需繁瑣的光軸調(diào)整。
并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域,可對應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
模擬輸出(1~5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外,還具備方便的偏移調(diào)整功能,可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。
(注1):出廠時固定于安裝基座狀態(tài)下的值。
檢測頭與控制器必須配套使用。
(1)按箭頭方向推入擋塊(鎖定)后,將安裝部前部嵌入35mm寬的DIN導(dǎo)軌中。
(2)將安裝部后部壓住35mm寬的DIN導(dǎo)軌并嵌入其中。
※拆卸時,將一字螺絲刀插入擋塊的凹槽中,向后拉出。
<使用螺絲時>
使用螺絲進行安裝時,請使用M4盤頭螺絲,并將緊固扭矩設(shè)為1.2N·m以下。
(注1): 無的測量條件為使用環(huán)境溫度+20℃。
(注2): 出廠時固定于安裝基座狀態(tài)下的值。
(注1): 無的測量條件為使用環(huán)境溫度+20℃。
(注2): 分辨率為模擬輸出的峰值~峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。
(注3): 檢測頭和控制器組合后測定時的代表示例。
(注1):模擬輸出未裝備短路保護電路。
請勿直接連接電源或容性負載。
符號???D:電源逆接保護用二極管
ZD:電涌電壓吸收用齊納二極管
請勿將本產(chǎn)品作為BZ人身安全的檢測裝置使用。
欲進行以BZ人身安全為目的的檢測,請使用符合OSHA、ANSI以及IEC等各國有關(guān)人身安全BZ的法律和標準的產(chǎn)品。
安裝檢測頭時,如下圖所示,使用2個M4內(nèi)六角螺栓(請另行準備),以0.5N·m以下的扭矩緊固。
請勿拆下固定投、受光器和安裝基座的固定螺絲。否則,輸出值會變化。
請勿使用投、受光器側(cè)面的安裝孔以螺絲安裝。
<使用DIN導(dǎo)軌時>
使用安全的紅色LED作為光源,無需任何繁雜的安全措施。
無需使用激光時必備的保護罩,在美國使用時不需要符合FDA標準。
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。
配線工時降至較限度,維護輕松。
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。
實現(xiàn)光電傳感器同等的功耗。
松下晶圓校準傳感器技術(shù)樣本,Panasonic規(guī)格型號
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